用SEM测超薄薄膜厚度,如何制样才能保证导电性足够好?薄膜是以溶胶凝胶法涂在Pt/Ti/SiO2/Si基片上的,厚度大概50nm,用扫描电镜测量薄膜厚度时如何制样才能保证导电性足够好?
来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/11/20 21:43:02
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用SEM测超薄薄膜厚度,如何制样才能保证导电性足够好?薄膜是以溶胶凝胶法涂在Pt/Ti/SiO2/Si基片上的,厚度大概50nm,用扫描电镜测量薄膜厚度时如何制样才能保证导电性足够好?
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