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硅片烧结炉的温度怎么调节
来源:学生作业帮助网 编辑:
作业帮
时间:2024/10/22 17:13:13
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硅片烧结炉的温度怎么调节
BTU烧结炉9区温度在空运行时温度时稳定的,但一有硅片时温度就会掉20度左右.哪位高手帮忙解答下?
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