本征多晶硅是N型还是P型?如晶格缺陷、界面等.制备方法是PECVD反应形成非晶硅,然后利用准分子激光退火制得多晶硅。

来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/11/30 08:08:07
本征多晶硅是N型还是P型?如晶格缺陷、界面等.制备方法是PECVD反应形成非晶硅,然后利用准分子激光退火制得多晶硅。
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