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来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/11/23 20:51:24
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post-gate annealing
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就是在工艺过程中为了加强栅极的可靠性或者减小栅极漏电而进行的退火,一般在栅极金属淀积之后退火,因此叫post-gate.