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如何用PVD法或等离子体增强PVD法镀厚硅膜?注:厚度超过50微米,还要考虑内应力和热应力,进行应力设计.
来源:学生作业帮助网 编辑:
作业帮
时间:2024/08/26 05:06:08
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