如何用PVD法或等离子体增强PVD法镀厚硅膜?注：厚度超过50微米,还要考虑内应力和热应力,进行应力设计.

来源：学生作业帮助网 编辑：作业帮 时间：2024/07/17 03:13:16
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如何用PVD法或等离子体增强PVD法镀厚硅膜?
注：厚度超过50微米,还要考虑内应力和热应力,进行应力设计.

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