磁控溅射镀膜 膜面放电问题您好,请教您一下,膜面放电原因及防治措施.和气体比例有关系吗?用脉冲电源也不行.很是着急!靶材清理得干净无中毒现象.做磨过边得没有,镀原片就有.打磨后会

来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/09/11 01:40:32
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