led按磊晶分气相沉积磊晶、液相磊晶,单异型结构 双异型结构 双异型结构,后三种分别是什么工艺过程?

来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/11/26 05:36:09
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这些都是台湾的说法, 前面的应该对应的是 气相外延和液相外延.
后面的应该是 同质节结构 单异质节结构 双异质节结构.这些是半导体激光器(LD)中的结构.和LED关系不大.
你问的是半导体激光器的结构,不是什么工艺过程,每种结构都有很多种不同的工艺过程能实现.现在的GaAs半导体激光器一般用的是双异质节结构.工艺就是一般的MOCVD长激光器的工艺了.