纳米位移计共焦传感器的测量原理.
来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/11/25 13:36:50
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纳米位移计共焦传感器的测量原理.
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纳米位移计共焦传感器测量系统基于光谱共焦的原理,由光学头和控制器组成,之间通过一根光缆连接.共焦传感器进行了小型化的封装,便于集成到现有的系统中.应用于表面难以测量的物体(技术性及困难表面),是一种非接触式轮廓测量的通用的测量解决方案.理想情况下,共焦传感器适合于敏感的,软的或液体的表面.适用于微机械工程,电气工程,光学行业,塑料和造纸行业,半导体和PCB产业的检测,工具行业等.
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