锅底料重掺多晶硅是什么意识
来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/07/31 18:31:31
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锅底料指直拉单晶硅生产时,残余在坩埚底部无法长成晶棒的料,由于杂质的偏析作用,锅底料含有较高浓度的杂质,包括金属,碳、磷和其他掺杂剂.这种料叫做重掺料.用此料掺合高纯多晶硅原料,比如,3kg锅底料掺7kg原生料,形成的多晶硅就叫锅底料重掺多晶硅,它的杂质浓度较高,可能会影响到少子寿命等性能.
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