低温等离子体得特点?
来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/11/15 07:49:16
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低温等离子体属非平衡等离子体,其中电子温度远高于重粒子温度,广泛应用于集成电路、表面处理、光源等许多领域.
不懂啊,俺才高中啊,不要求助俺啦~~
准中性,集体效应
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