化学试剂中的电子级什么意思?电子级分为:EL级、UP级、UP-S级都各指什么意思?谁能帮我详细解答下?谢谢
来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/07/17 14:46:03
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电子化学试剂按照纯度分为UP—S级、UP级、EL级三个等级.
UP-S级:适用0.35-0.8微米集成电路加工工艺,金属杂质含量小于1ppb,经过0.05微米孔径过滤器过滤,控制0.2微米粒子,在100级净化环境中灌装达到SEMI C8标准.
UP级:适用1微米集成电路及TFT-LCD制造工艺,金属杂质含量小于10ppb,经过0.2微米孔径过滤器过滤,控制0.5微米粒子,在100级净化环境中灌装,达到SEMI C7标准
EL级:金属杂质含量小于100ppb,控制1微米粒径粒子,达到SEMI C1 C2标准,适合中小规模集成电路及电子元件加工工艺
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电子纯和电子级的区别.电子纯和电子级有什么区别.查询了一下,很多人都说电子级就是电子纯,但是他们的区别是什么(请求详细的答案)