作业帮金属表面含氟什么作用
来源：学生作业帮助网 编辑：作业帮 时间：2024/07/19 20:24:22
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金属表面含氟什么作用
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金属氟化物稳定性好,特别是一些高熔点金属氟化物,热稳定性强.例如六氟化钨、六氟化铝、五氟化钽、四氟化钛等.主要用于超大规模集成电路作CVD成膜材料,能满足使用要求.
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