作业帮我们为什么真空镀膜采用复合真空计进行真空度测量
来源：学生作业帮助网 编辑：作业帮 时间：2024/11/17 03:53:52
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我们为什么真空镀膜采用复合真空计进行真空度测量
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一般来说,真空度分为粗真空,低真空,高真空,超高真空等.真空镀膜机的排气过程,就是从粗真空到高真空的过程,除非特殊要求,才会用到超高真空.
常用的真空计,一般都是复合式的,一组低真空（含测粗真空）,一组高真空,这是根据规管的特性来定的.低真空一般都是电阻规,高真空要用到电离规.
所有要用到复合真空计.
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