作业帮请问扩散硅压力传感器是什么原理呢
来源：学生作业帮助网 编辑：作业帮 时间：2024/10/04 20:49:32
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请问扩散硅压力传感器是什么原理呢
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也是在硅片上刻蚀惠斯通电桥,然后根据其压阻效应,将压力转换成破坏桥路平衡的电流,再根据电流变化与压力大小的线性关系,推算压力大小.好像所有的压阻传感器都是这个原理.
楼上误解了,扩散硅压力传感器并非都是充油芯体组成,像测量气体压力的扩散硅压力传感器就很少用到充油部件.
请问扩散硅压力传感器是什么原理呢
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