三氯氢硅提纯中的B、P怎么样除掉,希望你能帮助我

来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/07/18 17:22:28
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因为B、P在高温下也能与HCl等反应生成挥发性BCl3、PCl3,这些物质混在SiHCl3中难以去除 B、P的化合物种类繁多,有些和三氯氢硅、二氯二氢硅、