求问多晶硅的纯度怎么测,使用什么仪器

来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/07/30 21:03:25
求问多晶硅的纯度怎么测,使用什么仪器
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求问多晶硅的纯度怎么测,使用什么仪器
多晶硅生产厂家一般配置的仪器:
气相、红外、ICP-OES、ICP-MS
ICP-OES:主要用于测试原料及过程控制.
ICP-MS:用于成品检测.
国内现在上马建设的多晶硅厂家很多,基本上都是这种配置.