请你帮个忙 请教下你真空镀膜机的结构原理?

来源：学生作业帮助网 编辑：作业帮 时间：2024/11/15 15:33:34
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你的问题太泛泛了,真空镀膜机一般包括几个部分：
1. 真空室
2. 抽气系统（各种泵）
3.真空测量系统（真空计）
4.镀膜系统（各种蒸发源及电源）
5.电器控制系统及软件控制系统
6.压缩空气和冷却水及工艺气体分配系统.

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