作业帮干氧氧化和湿氧氧化的特点
来源：学生作业帮助网 编辑：作业帮 时间：2024/10/07 18:12:18
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干氧氧化和湿氧氧化的特点
干氧氧化和湿氧氧化的特点
干氧氧化和湿氧氧化的特点
干氧的氧化膜结构致密、均匀性和重复性好、掩蔽能力强、钝化效果好、但生长速率慢.
湿氧的氧化膜结构疏松,表面有缺陷,含水量多,对杂质的掩蔽能力差,但生长速率快.
一般湿氧很少单独使用,因为它对硅表面影响较大,湿氧和光刻胶的接触也不好
一般稍微对厚度要求的氧化层两个表面采用干氧,也就是干氧－湿氧－干氧(简称干湿干)的过程
干氧氧化和湿氧氧化的特点
硅氧化,干氧氧化和湿法氧化是怎么回事
解释为什么干氧工艺适用于大规模集成电路的氧化工艺
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生物氧化的特点是什么
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人和动物的呼吸作用为什么缓慢氧化呼吸与氧反应是氧化反应，而氧化反应分为缓慢氧化和燃烧氧化，而为什么呼吸作用分为缓慢氧化
缓慢氧化是指?缓慢氧化特点的是
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