作业帮四氟化碳对人体有什么危害
来源：学生作业帮助网 编辑：作业帮 时间：2024/11/24 03:52:02
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四氟化碳对人体有什么危害
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【 四氟化碳和氧气在高温下不反应】四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体,其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯氧气的混合体,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨薄膜材料的蚀刻.对于硅和二氧化硅体系,采用CF4-H2反应离子刻蚀时,通过调节两种气体的比例,可以获得45：1的选择性,这在刻蚀多晶硅栅极上的二氧化硅薄膜时很有用.
危害性概述危险性类别：GB2.2 类不燃气体 侵入途径：吸入 健康危害：吸入高浓度的四氟化碳出现呼吸困难、呕吐等窒息症状.
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