实验室的传感器定位半导体晶片,物理气相沉淀,具体要怎么操作目标避免在进入沉淀室时,由于排列不整齐而造成晶片损坏.确保沉淀物统一地沉淀在晶片上
来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/07/28 03:40:32
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实验室的传感器定位半导体晶片,物理气相沉淀,具体要怎么操作
目标
避免在进入沉淀室时,由于排列不整齐而造成晶片损坏.
确保沉淀物统一地沉淀在晶片上
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在物理气相沉淀系统中,晶片会被放入不同的沉淀室里,每一个沉淀室用来沉淀不同的物质.传感器被安装在沉淀室的内侧.每个传感器测量载有晶片的传送器在沉淀室中的位置.高精度传感器SMT-9700提供了模拟和数字两种输出信号,以防止超出系统可承受的范围.
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