作业帮分子泵与扩散泵的关系在抽真空系统中,扩散泵是作为分子泵的前级抽真空吗?扩散泵的极限压强是多少?分子泵的极限压强是多少?分子泵在多少压强下开始工作?
来源：学生作业帮助网 编辑：作业帮 时间：2024/11/29 09:01:54
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分子泵与扩散泵的关系在抽真空系统中,扩散泵是作为分子泵的前级抽真空吗?扩散泵的极限压强是多少?分子泵的极限压强是多少?分子泵在多少压强下开始工作?
分子泵与扩散泵的关系
在抽真空系统中,扩散泵是作为分子泵的前级抽真空吗?扩散泵的极限压强是多少?分子泵的极限压强是多少?分子泵在多少压强下开始工作?
分子泵与扩散泵的关系在抽真空系统中,扩散泵是作为分子泵的前级抽真空吗?扩散泵的极限压强是多少?分子泵的极限压强是多少?分子泵在多少压强下开始工作?
分子泵和扩散泵可以到达的真空度范围是差不多的,两个是同级的.但两个泵又各有不同的优点和缺点,所以在市场上两者是并存的.
1：分子泵体积小,耗能小,对真空室的污染比较小.但是相比扩散泵,分子泵的抽气速度比较低,维护成本比较高(精密).
2：扩散泵可以设计为很大的抽速,购置成本比较低.但是扩散泵体积比较大,能耗高,会对真空室有很重的油污染,一般要配合液氮(氦)冷阱用(运营成本高),不环保.
按趋势来讲,高真空泵还是向分子泵方向在发展,但是由于分子泵叶片转速很高,所以对轴承有很高的要求,国内厂家生产的分子泵稳定性不是很好,国外的分子泵价格又过高,所以国内工业生产上一般还是选用扩散泵.只有在一些高端的产业像半导体产业和科研单位才会用到分子泵.
分子泵与扩散泵的关系在抽真空系统中,扩散泵是作为分子泵的前级抽真空吗?扩散泵的极限压强是多少?分子泵的极限压强是多少?分子泵在多少压强下开始工作?
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二十分,扩散泵,高真空问题,由高真空油扩散泵与旋片式真空泵组成的高真空系统,预抽真空(低真空)能抽到3.8*10Pa.预热时间也够长,却开不了高阀,开高真空后真空度显示涨到10的2次方了,抽不下,
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