半导体光刻中的pitch是什么意思

来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/07/14 15:09:42
半导体光刻中的pitch是什么意思
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半导体光刻中的pitch是什么意思
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pitch=line+space
minmum line or space determines photo & etch's capability. Different pitch, photo characteristic is different, different pitch, etch bais is different.