四氯化硅回收技术主要有哪些多晶硅生产过程中产生大量的副产物四氯化硅,其回收利用技术主要有哪些?

来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/07/12 23:03:48
四氯化硅回收技术主要有哪些多晶硅生产过程中产生大量的副产物四氯化硅,其回收利用技术主要有哪些?
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四氯化硅回收技术主要有哪些
多晶硅生产过程中产生大量的副产物四氯化硅,其回收利用技术主要有哪些?

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氢化反应后可转化为三氯氢硅 四氯化硅+氢气——三氯氢硅