磁控溅射设备 能起辉 但镀不上膜 主要的参数:靶材为铝靶,气体氩气,其它参数都没有问题但是辉光是粉色的,而且还镀不上膜

来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/10/06 07:29:31
磁控溅射设备 能起辉 但镀不上膜 主要的参数:靶材为铝靶,气体氩气,其它参数都没有问题但是辉光是粉色的,而且还镀不上膜
xQ[N@ h` ƥ1D7Z2(b ŏRQj63wΗ[b $sKEyoڣHl,͡,SG5 _?OS3 ՍDljjt k"xᄀv*+jj&eў،1d3ШU{X?<)wq32JE?Kor4z2:$ NjLQAÆ^"+ $M2K!([\ }?ɋPMe֥7s$NG?T ܽcU/w2D

磁控溅射设备 能起辉 但镀不上膜 主要的参数:靶材为铝靶,气体氩气,其它参数都没有问题但是辉光是粉色的,而且还镀不上膜
磁控溅射设备 能起辉 但镀不上膜
主要的参数:靶材为铝靶,气体氩气,其它参数都没有问题
但是辉光是粉色的,而且还镀不上膜

磁控溅射设备 能起辉 但镀不上膜 主要的参数:靶材为铝靶,气体氩气,其它参数都没有问题但是辉光是粉色的,而且还镀不上膜
没有镀过Al,不知道辉光的准确颜色.但是是不是你气压设置或者基片温度有问题呢?磁控溅射控制参数就这么几个了.既然能起辉,至少电流值应该在可选范围内了