作业帮如何从碎硅片中提取硅
来源：学生作业帮助网 编辑：作业帮 时间：2024/11/28 01:02:12
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如何从碎硅片中提取硅
如何从碎硅片中提取硅
如何从碎硅片中提取硅
切片：将单晶硅棒切成具有精确几何尺寸的薄硅片.此过程中产生的硅粉采用水淋,产生废水和硅渣.
退火：双工位热氧化炉经氮气吹扫后,用红外加热至300~500℃,硅片表面和氧气发生反应,使硅片表面形成二氧化硅保护层.
倒角：将退火的硅片进行修整成圆弧形,防止硅片边缘破裂及晶格缺陷产生,增加磊晶层及光阻层的平坦度.此过程中产生的硅粉采用水淋,产生废水和硅渣.[1]