薄硅片的无蜡抛光如何避免或减少破片?4英寸硅片抛光后厚度为250um,6英寸抛光后厚度为300um,目前使用的无蜡抛光工艺经常出现破片,
来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/07/11 15:24:47
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你可以使用美国ZeroMicron的无蜡抛光模板解决无蜡抛光破片问题,这种无蜡抛光模板可以保证硅片在模板的槽中自由转动,可以避免或减少破片,具体可参考ZeroMicron在中国代理商致联公司的的网站:http://www.zhilian-sh.com/Zeromicronben.htm
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