磁控溅射真空抽不下去,刚开机械泵能抽到50Pa,后来慢慢变到100Pa,这可能会是什么原因造成?但是仔细检查了没有发现大漏的地方,而且开始为什么能抽的比较低后来反而越来越差了呢?放气的
来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/09/16 11:46:10
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