作业帮磁控溅射真空抽不下去,刚开机械泵能抽到50Pa,后来慢慢变到100Pa,这可能会是什么原因造成?但是仔细检查了没有发现大漏的地方，而且开始为什么能抽的比较低后来反而越来越差了呢？放气的
来源：学生作业帮助网 编辑：作业帮 时间：2024/11/15 20:35:15
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磁控溅射真空抽不下去,刚开机械泵能抽到50Pa,后来慢慢变到100Pa,这可能会是什么原因造成?但是仔细检查了没有发现大漏的地方，而且开始为什么能抽的比较低后来反而越来越差了呢？放气的
磁控溅射真空抽不下去,刚开机械泵能抽到50Pa,后来慢慢变到100Pa,这可能会是什么原因造成?
但是仔细检查了没有发现大漏的地方，而且开始为什么能抽的比较低后来反而越来越差了呢？
放气的问题考虑到了，是在烘烤冷却之后抽的。
还会有什么可能呢？
机械泵油长时间没换会不会影响这么大？而且是突然这样的。
磁控溅射真空抽不下去,刚开机械泵能抽到50Pa,后来慢慢变到100Pa,这可能会是什么原因造成?但是仔细检查了没有发现大漏的地方，而且开始为什么能抽的比较低后来反而越来越差了呢？放气的
1、系统泄露；
2、真空泵换油
3、真空室热泄露
4、机械泵抽到50PA,也是很差的了,应该在10一下,
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1 漏气
2 放气了，比如真空腔内壁吸附的气体脱离容器壁，这种情款多发生于加热时
检查一下机械泵和罗茨泵的轴封，有可能有漏气。
在抽气过程中如果没有温度的变化，而真空度会变化是很奇怪的。
还有一个问题就是，在加热时，某些部件会涨起来，反而不漏气，一旦温度降下来，部件的尺寸就会恢复，这时候反而漏气，要考虑进来。如果是此现象，请重点检查下加热器管密封等。...
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检查一下机械泵和罗茨泵的轴封，有可能有漏气。
在抽气过程中如果没有温度的变化，而真空度会变化是很奇怪的。
还有一个问题就是，在加热时，某些部件会涨起来，反而不漏气，一旦温度降下来，部件的尺寸就会恢复，这时候反而漏气，要考虑进来。如果是此现象，请重点检查下加热器管密封等。
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管道有漏气或者泵本身有密封不好的地方还有就是所抽设备有漏气现象.
磁控溅射真空抽不下去,刚开机械泵能抽到50Pa,后来慢慢变到100Pa,这可能会是什么原因造成?但是仔细检查了没有发现大漏的地方，而且开始为什么能抽的比较低后来反而越来越差了呢？放气的
磁控溅射真空抽不下去,抽到200Pa就抽不下去了,器件检查没有漏气,
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