多晶硅还原炉如何清洗Si,除了热碱液和高压水清洗还有其他方法吗?有干法清洗吗?

来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/11/24 06:20:15
多晶硅还原炉如何清洗Si,除了热碱液和高压水清洗还有其他方法吗?有干法清洗吗?
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还有酸,我做过这个项目.因为是保密项目,所以只能告诉你酸