作业帮请问哪位高手知道ITO和sio2薄膜的主要性能参数是那些,以及用什么设备测试这些参数,测试设备的原理是什么谢求各位大侠给予答复
来源：学生作业帮助网 编辑：作业帮 时间：2024/11/24 15:18:56
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请问哪位高手知道ITO和sio2薄膜的主要性能参数是那些,以及用什么设备测试这些参数,测试设备的原理是什么谢求各位大侠给予答复
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谢求各位大侠给予答复
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ITO ：膜厚,透过率,方块电阻.
分别用 台阶仪,分光光度计,四探针电阻仪 测量,原理就比较复杂了
sio2：膜厚,台阶仪测量.
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