什么是反应离子刻蚀

来源：学生作业帮助网 编辑：作业帮 时间：2024/07/27 14:04:54
什么是反应离子刻蚀
xS@~!/`|Ӿ"x_=UVw/EgY\ҤM137|34ZMbmSػ`AmXgj69 mEE}ptzJY;p?[d--{ *k_(^1{H6dyՠV:H2,g/)Hf+ #N`LD P5^j"u b5u/Fsf r>|_JF-Ku"7pPRnxAzA/&R͐.IbF!h$ 8#-)X*"'CRhYmѣG,EBb:8!nx|RhYWL3BUP/-p(`p|uӱ F`HbI|A'W DZ;:F-wR]RkCpGqGgR+$(Q.>S]~CF7Dpp kqxeAH?M'<5Z>4ſa

什么是反应离子刻蚀
什么是反应离子刻蚀

什么是反应离子刻蚀
这种刻蚀过程同时兼有物理和化学两种作用.辉光放电在零点几到几十帕的低真空下进行.硅片处于阴极电位,放电时的电位大部分降落在阴极附近.大量带电粒子受垂直于硅片表面的电场加速,垂直入射到硅片表面上,以较大的动量进行物理刻蚀,同时它们还与薄膜表面发生强烈的化学反应,产生化学刻蚀作用.选择合适的气体组分,不仅可以获得理想的刻蚀选择性和速度,还可以使活性基团的寿命短,这就有效地抑制了因这些基团在薄膜表面附近的扩散所能造成的侧向反应,大大提高了刻蚀的各向异性特性.反应离子刻蚀是超大规模集成电路工艺中很有发展前景的一种刻蚀方法.

什么是反应离子刻蚀 硝酸铁可以刻蚀银饰,其相关的反应离子方程式. 什么是等离子刻蚀 什么是rie刻蚀 什么是湿法刻蚀 什么是复分解反应?什么是离子反应 置换反应为什么是离子反应 高一化学中什么是离子反应 什么是离子反应?如何区分? 我想知道用硝酸铈铵刻蚀铬膜时发生了怎样的化学反应,刻蚀速度是否和硝酸铈铵的浓度成正比我猜想是Ce(4+)+Cr==>Ce(3+)+Cr(3+),那么铬离子有没有和硝酸铈铵中的铵根形成络和物?随着反应的进行 什么是离子互换反应?是不是离子反应又叫离子互换反应? KI+O3+H2O为什么是离子反应 四氟化碳 与硅和二氧化硅的反应 最好是刻蚀的 雕花玻璃是用什么物质对它刻蚀而成的?其反应化学方程式为? 铜片放入硝酸银溶液中是离子反应吗?为什么是离子反应? 离子反应化合反应怎么区分NaCl为什么是离子化合物而不是共价化合物 什么是显色反应?为什么测定金属离子需要进行显色? 离子间发生双水解是什么意思,什么是双水解反应?