单晶炉具体操作步骤要具体

来源：学生作业帮助网 编辑：作业帮 时间：2024/11/20 19:28:21
单晶炉具体操作步骤要具体
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单晶炉具体操作步骤要具体
单晶炉具体操作步骤
要具体

单晶炉具体操作步骤要具体
1、 目的
为正确、规范地操作单晶炉,确保生产作业正常,特制订本规范.
2、 适用范围
适用于TDR-70A/B和JRDL-800型单晶炉的操作.
3、 单晶炉操作工艺流程
作业准备→热态检漏→取单晶和籽晶→石墨件取出冷却→真空过滤器清洗→真空泵油检查更换→石墨件清洗→单晶炉室清洗→石墨件安装→石英坩埚安装→硅料安装→籽晶安装→抽空、检漏→充氩气、升功率、熔料→引晶、缩颈、放肩、转肩→等径生长→收尾→降功率、停炉冷却
4、 主要内容
A.作业准备
a.进入单晶车间须穿戴好洁净工作服、鞋.
b.开炉前,按工艺要求检查水、电、气,确认无误后方能开炉.
c.准备好一次性洁净手套、耐高温手套、毛巾、纸巾、研磨布、酒精、吸尘刷、吸尘管、防尘口罩.
d.准备好钳子、扳手和各类装拆炉专用工具.
e.取单晶的架子、装石墨件的不锈钢小车、装埚底料的不锈钢筒和装硅料的不锈钢小车,并处理干净.
f.用毛巾将炉体从上到下一遍,擦洗时注意不要将所有控制接线及开关碰断或碰坏,并把炉子周围清扫干净.
B.热态检漏
a.检查上一炉功率关闭时间,在单晶冷却4.0小时（TDR-70A/B型单晶炉）、5.0小时（JRDL-800型单晶炉）后,关闭氩气（只关闭氩气阀门,主、付室流量计调节阀打开并分别调节到30L/Min）,开始抽高真空,并作时间记录.
b.待炉内压力到达极限（要求达到3Pa以下）后,先关闭主室球阀而后关闭真空泵电源进行检漏,并作相应时间记录,若0.5小时内抽不到3Pa以下时,交有关维修人员处理,在此期间须配合有关维修人员进行装拆炉,并作相关记录.
c.检漏要求3分钟以上,漏气率

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