真空镀膜时开扩散泵前要关真空室门和充气阀门么?

来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/11/28 13:27:15
真空镀膜时开扩散泵前要关真空室门和充气阀门么?
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那是一定的,真空镀膜机是有保护程序的.

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