扩散泵开始抽高真空后真空度上升很慢真空室是1.5立方米,配600扩散泵,原来抽到0.05pa只要3分钟,现在需要20分钟,不是突然变成这样的,是非常缓慢的一个过程.真空度在2pa以下时再上升就非常慢
来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/11/06 04:34:38
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