ITO如何湿法腐蚀?想用湿法腐蚀ITO,使用SiO2作掩膜,所以要求对SiO2腐蚀速率不能太快,
来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/07/19 13:01:44
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ITO如何湿法腐蚀?想用湿法腐蚀ITO,使用SiO2作掩膜,所以要求对SiO2腐蚀速率不能太快,
ITO如何湿法腐蚀?
想用湿法腐蚀ITO,使用SiO2作掩膜,所以要求对SiO2腐蚀速率不能太快,
ITO如何湿法腐蚀?想用湿法腐蚀ITO,使用SiO2作掩膜,所以要求对SiO2腐蚀速率不能太快,
可以使用HCL做腐蚀,不过速度不好控制,容易出现侧蚀等
还有一种配比HCl:HNO3:H2O=5:5:2
当然,王水是用的比较普遍的,3.4%的草酸也行