作业帮集成电路工艺主要分为哪几类每一类包括哪些主要工艺,简述各工艺的主要作用,简述光刻的工艺过程
来源：学生作业帮助网 编辑：作业帮 时间：2024/11/28 11:03:16
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集成电路工艺主要分为哪几类每一类包括哪些主要工艺,简述各工艺的主要作用,简述光刻的工艺过程
集成电路工艺主要分为哪几类
每一类包括哪些主要工艺,简述各工艺的主要作用,
简述光刻的工艺过程
集成电路工艺主要分为哪几类每一类包括哪些主要工艺,简述各工艺的主要作用,简述光刻的工艺过程
光刻的工艺过程如下：
1) 打底膜（HMDS粘附促进剂）,2)涂光刻胶,3) 前烘,4)对版 曝光,5)显影,6)坚膜,7)刻蚀：采用干法刻蚀（Dry Etching）,8)去胶：化学方法及干法去胶.
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