等离子体辅助化学气相沉积pevcd基片上加负偏压为什么效果不好,磁控设备用都可以.为什么.哪位大侠帮个忙我只加了氩气,辉光就不正常,等离子区向下,不加偏压,基片接地才能正常起辉
来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/07/13 10:06:03
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等离子体辅助化学气相沉积pevcd基片上加负偏压为什么效果不好,磁控设备用都可以.为什么.哪位大侠帮个忙
我只加了氩气,辉光就不正常,等离子区向下,不加偏压,基片接地才能正常起辉。什么原因
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你放电装置出现的问题在于:
采用了DC放电,需要电流回路.
DC放电的高压电极为负压,当基片加置负偏压时,DC电源(用于放电那个)不同通过基片分支放电,由此出现你所说的不能起辉.
你这种放电方式可以实现所谓的不等位辉光放电(太原工学院,徐重教授专利),实际上是变形的空心阴极放电,可以实现高放电电流工作.
你目前没有获得这种有益效应,可以如下尝试:
(1)先启动DC放电并保持偏压电源输出(偏压电源是否对地输出?)为零,达到放电最高功率后,再开启偏压电源;
(2)控制装置地,用绝缘物覆盖靠近电极附近的金属腔体,使放电回路向下延伸;
(3)提高偏压电源输出电压、功率,电压绝对值低于DC放电电压,二者形成不等位的空心阴极放电.
谁知道等离子体辅助化学气相沉积(PECVD)英文全称是什么?
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