镀膜机真空达不到想换油,扩散泵怎么换油?最好把过程一个一个列出来,

来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/11/15 17:51:51
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镀膜机真空达不到想换油,扩散泵怎么换油?
最好把过程一个一个列出来,

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一、关闭电源,拆除加热炉
二、让扩散泵冷却到室温,拔出泵壁的测量孔上的密封,把空气放入泵内
三、拆除机械泵联接和扩散泵
四、取出扩散泵,取出里面的部件,如喷油伞等,一定要记住安装秩序和位置
五、清洗部件和泵内壁,尤其是泵底部,把油污彻底清除,一般是用细砂纸和丙酮清洁,然后烘干,一定要烘干,烘干过程中要盖住泵口,防止灰尘进入,一般要几个小时
六、安装拆卸顺序放回各部件,倒入新油
七、按原顺序装回,
八、开始烧泵,抽真空,不断的烧,充分排除泵内水汽之类物质,让维持泵内真空,这个过程很重要,需要三四个小时,期间要不断循环抽真空
大概就是这么多了!