PECVD镀膜机一般抽到多少真空度

来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/11/24 19:03:50
PECVD镀膜机一般抽到多少真空度
x) pusy9Eۜgsv=cͳO;6<]2醉r]lIP_`gCZ&O[[mXlÔg[e_6>mRO[7K@-۞N}>eų junlgz}]@'{'l}~ p=<;lC=d0*

PECVD镀膜机一般抽到多少真空度
PECVD镀膜机一般抽到多少真空度

PECVD镀膜机一般抽到多少真空度
一般抽到5*10-4充氮气洗一遍再充氮气洗一遍,一共洗两遍,然后再用氢气洗,之后就是成膜工艺气体配比充.

1.0*10-3Pa