作业帮PECVD镀膜机一般抽到多少真空度
来源：学生作业帮助网 编辑：作业帮 时间：2024/07/05 11:07:53
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一般抽到5*10-4充氮气洗一遍再充氮气洗一遍,一共洗两遍,然后再用氢气洗,之后就是成膜工艺气体配比充.
1.0*10-3Pa
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镀膜机在抽高真空时开深冷会倒表
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真空度最高能抽到多少
真空镀膜 真空不稳定~真空镀膜机在镀膜时,真空度变低,
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请问薄膜太阳能电池用的镀膜（PECVD）设备是什么?
我用韩式镀膜机!粗抽抽真空越来越慢!原来需要两三分钟就可以高抽,到五分钟左右就自动开烘烤!现在粗...我用韩式镀膜机!粗抽抽真空越来越慢!原来需要两三分钟就可以高抽,到五分钟左右就
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金刚石镀钛我们是用镀钛机镀的 真空状态 请问基本在多少度开始抽真空比较好 晚了会怎么样?一般多少度开始抽真空？