真空镀膜机的,粗抽阀,前级阀,精抽阀,它们的作用是什么,求行家解答,

来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/10/03 03:16:52
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机械抽取真空的过程相当于接力跑,初期从大气状态开始一般使用旋片泵、滑阀泵等,当达到初级泵的极限后就要更换为高真空泵,如罗茨泵、分子泵、扩散泵、冷泵等,在泵与泵之间用于隔断或转换的就是你说的那些阀门.

真空度不同,需要用的真空泵就不一样。
越高的真空度,需要有几级泵来实现。
粗抽阀,是第一级泵(一般是旋片泵)与第二级泵之间的阀门,当管道压力达到二级泵开启的要求时,粗抽阀就可以打开。
前级阀是统称,包括精抽阀等, 其原理相似。...

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真空度不同,需要用的真空泵就不一样。
越高的真空度,需要有几级泵来实现。
粗抽阀,是第一级泵(一般是旋片泵)与第二级泵之间的阀门,当管道压力达到二级泵开启的要求时,粗抽阀就可以打开。
前级阀是统称,包括精抽阀等, 其原理相似。

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