等离子体溅射 什么是等离子体溅射?

来源：学生作业帮助网 编辑：作业帮 时间：2024/07/11 18:22:40
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用直流或射频的方法使稀有气体电离成等离子体,再通过偏置等方法轰击在需要溅射的靶上,使靶上的原子有足够的能力脱离原子间的力飞溅出来,最后落在需要镀的基板上

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