光刻胶匀胶后为什么要去除掉边缘的光刻胶

来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/09/28 15:19:45
光刻胶匀胶后为什么要去除掉边缘的光刻胶
x[ P7$q/ڀ]UDPz"26sf9HKK/1: s޻,KNsf6:@r8b~-Z5to$..ʁ`(# OC.nV²({F .SDw+HNx q+s,IJ _nY"mu/-Te+j6MJK

光刻胶匀胶后为什么要去除掉边缘的光刻胶
光刻胶匀胶后为什么要去除掉边缘的光刻胶

光刻胶匀胶后为什么要去除掉边缘的光刻胶
可能是匀胶后边缘的光刻胶有堆胶现象,如果采用的是接触式曝光,那么掩模板和晶片之间就会有间隙,造成曝光出现虚影,因此要去除掉边缘的光刻胶.