光学光刻技术的极限是多少

来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/10/01 22:08:09
光学光刻技术的极限是多少
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这要看你的曝光机的精密度,范围比较大的在2um左右吧,极限肯定要比这个小