三氯氢硅的实验原理希望回答的具体些.渴望知道的朋友多多交流,
来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/08/27 05:51:11
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三氯氢硅的实验原理
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三氯氢硅生产方法
硅氢氯化法
该方法是用冶金级硅粉,作原料,与氯化氢气体反应.可使用铜或铁基催化剂.反应在200---800和0.05---3mpa下进行
2Si+HCL4HsiCL3
反应温度400-----800
压力2---4兆帕
该反应为平衡反应,为提高三氯氢硅的收率,优选在氯化氢存在下进行,原料采用冶金级产产品通过预活化除去表面的氧化物后,可进一步提高三氯氢硅的收率
三氯氢硅与四氯化硅沸点差距25度,且不产生共沸物,所以比较容易分离
一种四氯化硅氢化生产三氯氢硅的方法,其主要流程如下: a)将镍触媒与硅粉以质量比1-10%的比例均匀混合后置于活化器中,活化条件为H↓〔2〕流速≥0.05-0.3m/s,经不同时间阶段由25℃至终温420℃的升温条件下完成活化过程; b)四氯化硅(SiCl↓〔4〕)液相温度在贮罐中保持60-119℃,气相总压为1.5MPa,出口的H↓〔2〕与SiCl↓〔4〕混合气的摩尔比为1-10; c)氢化反应器内,H↓〔2〕与SiCl↓〔4〕的混合气通过触媒与硅粉混合料层,保持温度400-500℃、压力1.2-1.5Mpa; d)氢化反应器的出口混合气体经收尘器进行除尘、过滤后,在冷凝器中氯硅烷呈液态被分离出来,不凝的H↓〔2〕气返回贮罐中循环利用; e)液态氯硅烷经分馏塔分馏后,重组份SiCl↓〔4〕返回贮罐重复利用.
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