水平式连续镀膜设备(PVD)水循环系统 要给什么设备冷却 ,比如 靶材 还有其他的哪些呀 .@jadezyk
来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/07/06 13:10:30
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@jadezyk
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冷阱,靶材,腔体的外围,回转发热结构的冷却,真空泵
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