请问薄膜太阳能电池用的镀膜(PECVD)设备是什么?

来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/11/19 19:36:48
请问薄膜太阳能电池用的镀膜(PECVD)设备是什么?
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PECVD= Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition
等离子体辅助化学气相沉积
我们公司就是做这个的.