关于光刻用激光器做光刻产品,激光直写系统,用的紫外胶,用哪种类型激光器好点,我看其他公司激光直写设备(国内、外)都是405nm的、功率未知,光斑焦点可以做到1um甚至更小,从冷启动到设
来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/07/20 09:35:33
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关于光刻用激光器
做光刻产品,激光直写系统,用的紫外胶,用哪种类型激光器好点,我看其他公司激光直写设备(国内、外)都是405nm的、功率未知,光斑焦点可以做到1um甚至更小,从冷启动到设定功率只需要几微秒,还可以通过软件控制.想问下选用哪种激光器,聚焦镜头?
关于光刻用激光器做光刻产品,激光直写系统,用的紫外胶,用哪种类型激光器好点,我看其他公司激光直写设备(国内、外)都是405nm的、功率未知,光斑焦点可以做到1um甚至更小,从冷启动到设
紫外胶的现在基本都是使用405nm的激光器,焦点做到这么小的话应该需要做成单模光纤耦合的了,镜头主要是根据实际的光斑大小和作用距离来决定的
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