作业帮管式PECVD与平板式PECVD机器镀膜的区别在哪里?
来源：学生作业帮助网 编辑：作业帮 时间：2024/07/08 06:52:41
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管式PECVD与平板式PECVD机器镀膜的区别在哪里?
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前者是在管子里,片子在石墨舟里作为电极镀膜,可以叫做直接式,后者则在石墨框上,不作为电极,可以叫做间接式.前者采用射频电源,后者则采用微波辉光.另外还有很多不同之处.
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