作业帮PECVD碎片的原因还有就是上料下料时应注意什么,PECVD的原理?
来源：学生作业帮助网 编辑：作业帮 时间：2024/11/19 17:42:24
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PECVD碎片的原因还有就是上料下料时应注意什么,PECVD的原理?
PECVD碎片的原因
还有就是上料下料时应注意什么,PECVD的原理?
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板式的不是生成碳化硅?
而管式的PECVD则是用氨气和硅烷生成氨化硅.
楼主问的可是光伏行业的，我就是在PECVD上，你说的是版式PECVD吧，对于版式来说上料，下料就是轻，柔，慢。注意在于人的心态。它的原理就是在高温下利用氨气和硅烷给硅片镀上一层膜！
pin 不平衡
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